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Tetrafluoreto de carbono CAS 75-73-0

O tetrafluoreto de carbono é o gás de gravação de velas de plasma mais amplamente utilizado na indústria de microeletrônica. É uma mistura de gás de alta pureza e gás tetrafluoreto de carbono de alta pureza com oxigênio de alta pureza....

Tempo de lançamento：2025-04-26

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Tetrafluoreto de carbono CAS 75-73-0

Nome do produto: Tetrafluoreto de carbono Gás tetrafluoreto de carbono Tetrafluorometano Perfluorocarbono

Grau do produto: grau analítico

Pureza do produto: 99,999%

Especificação da embalagem: 40L

Nome chinês: aliás chinês: [p]/p>

<75-73-0

EINECS: 200-896-5

Fórmula molecular: CF4

Peso molecular: 88

Propriedades físicas e químicas:-Ponto de fusão: -184 °C

O tetrafluoreto de carbono é o gás de gravação de velas de plasma mais usado na indústria de microeletrônica. É uma mistura de gás de alta pureza e gás tetrafluoreto de carbono de alta pureza com oxigênio de alta pureza.

1. Pode ser amplamente utilizado na gravação de velas de silício, dióxido de silício, nitreto de silício, vidro de silício de fósforo e materiais de filme fino de tungstênio. Para sistemas de silício e dióxido de silício, ao usar a gravação de íons reativos CF4-H2, ajustando a proporção dos dois gases, uma seletividade de 45:1 pode ser obtida, o que é muito útil ao gravar filmes de dióxido de silício em portas de polissilício.

2. Também é amplamente utilizado na limpeza de superfícies de dispositivos eletrônicos, produção de células solares, tecnologia laser, isolamento de fase de gás, refrigeração de baixa temperatura,

agente de detecção de vazamento, controle da atitude do foguete espacial e agente de descontaminação na produção de circuito impresso.

3. Devido à sua estabilidade química extremamente forte, o CF4 também pode ser usado em indústrias de fundição de metal e plástico.

4. O tetrafluoreto de carbono tem boa solubilidade em oxigênio, por isso é usado por cientistas para substituir o ar comprimido comum em experimentos de mergulho ultraprofundo. Ele foi usado com sucesso em ratos, e os ratos ainda podem escapar com segurança a uma profundidade de 275 a 366 metros.

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