Tetrafluoreto de carbono Cas 75-73-0
Nome do produto: carbono tetrafluoreto de tetrafluoreto de tetrafluoreto tetrafluorometano perfluorocarbono
Grau de produto: grau analítico
Pureza do produto: 99,999%
Especificação de embalagem: 40L
Nome chinês: tetrafluoreto de carbono
Alias chinesas: tetrafluorometano
CAS: 75-73-0
Einecs: 200-896-5
Fórmula molecular: CF4
Peso molecular: 88
Propriedades físicas e químicas: - Ponto de fusão: -184 grau
O tetrafluoreto de carbono é o gás de gravura de velas de plasma mais amplamente utilizado na indústria de microeletrônicos . É uma mistura de gasolina de gás de alta pureza e tetrafluoreto de alta pureza com oxigênio de alta pureza .}
1. pode ser amplamente utilizado na gravação de velas de silício, dióxido de silício, nitreto de silício, vidro de silício de fósforo e materiais finos de filme tungstênio . para os sistemas de silício e silício, quando usando cf 4-}}}}}} A seletividade de 45: 1 pode ser obtida, o que é muito útil ao gravar filmes de dióxido de silício em portões de polissilício .
2. Também é amplamente utilizado na limpeza de superfície do dispositivo eletrônico, produção de células solares, tecnologia a laser, isolamento da fase gasosa, refrigeração de baixa temperatura,
Agente de detecção de vazamento, controle da atitude do foguete espacial e agente de descontaminação na produção de circuito impresso .
3. Devido à sua estabilidade química extremamente forte, o CF4 também pode ser usado nas indústrias de fundição de metal e plástico .
4. O tetrafluoreto de carbono possui boa solubilidade de oxigênio, por isso é usada pelos cientistas para substituir o ar comprimido comum em experimentos de mergulho ultra-profundos ., foi usado com sucesso em ratos, e os ratos ainda podem escapar em segurança em um departamento de 275 de 366 {{5
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